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微生物污染控制原則
在生物潔凈室和相關環境中，應建立并實施用以維持生物污染控制的“控制體系”，利用該體系來評價和控制那些對工藝及生產的微生物水平有影響的因素。根據ISO14698-1“潔凈室與相關受控環境—生物污染控制”的推薦，“危害分析關鍵控制點”系統是一種在上廣泛被認可的、便于使用的危害分析方法。當然其它經過驗證的有效方法，如“故障模式和結果分析”體系也是常用的一種。這些體系的原則可用于各種危害與故障分析，而針對生物污染控制所需建立的“控制體系”，就是依據這些通用體系的基本原理與原則，并具體...
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2020-08-31
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微生物污染控制的手段與方法
微生物懸浮于空氣中可形成各種各樣的微生物氣溶膠，微生物氣溶膠是指分散相中含有微生物的氣溶膠。根據所需控制的對象和不同的微生物種類，又可分為細菌氣溶膠、真菌氣溶膠、病毒氣溶膠等，對生物污染控制較關注的微生物氣溶膠粒子主要分布在0.1～20um范圍內，見下表：生物污染控制就本質而言，與其它空氣中懸浮微粒污染控制的手段與方法是一致的，采取的主要手段與方法有：1、采用空氣過濾器等物理方法把空氣中的懸浮微生物粒子阻隔下來，再將潔凈的空氣送入微生物污染控制區，以排除或稀釋控制區內被懸浮微...
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2020-08-31
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凝聚核粒子計數器的介紹
凝聚核粒子計數器從計測原理上歸類，仍屬于離散粒子計數器，與一般離散粒子計數器的不同之處在于它附有一套使被檢測空氣中的超微粒子尺寸增大的裝置，以便于用一般離散粒子計數器測定那些原來遠小于其識別能力的超微粒子，例如0.02um的超微粒子。其工作原理如下圖：被測空氣中懸浮的超微粒子由采樣口進入凝聚核粒子計數器，經過溫度為35℃的飽和蒸汽發生容器及溫度為10℃的凝聚管后，在溫度驟變的條件下以超微粒子為凝聚核，形成了尺寸遠大于超微粒子自身的液滴。液滴的尺寸可根據檢測需要在一定范圍內調整...
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2020-08-27
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潔凈室靜電測試
潔凈室內往往存在著不容忽視的靜電危害，是導致電子器件、電子儀器和設備損壞或性能下降的重要因素之一，對芯片制造影響尤為重要。此外，靜電還是潔凈室在生產過程中有易燃易爆氣體或粉塵產生時，導致爆炸、火災的元兇以及存在電擊傷人的隱患。潔凈室靜電對塵埃的吸附效應，也易造成生產環境和產品各個壁面的塵埃聚集，以致影響潔凈室的環境和產品被污染。1、相關的規范規定潔凈室相關規范對靜電防護問題，從設計到運行都有具體的規定。例如，潔凈室設施應選用既不會產生也不能蓄積大量靜電的建筑材料。為保護對靜電...
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2020-08-27
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潔凈室的噪聲、微振與照度的測試
由于潔凈室對排除室內污染物的要求高，因此比一般空調房間的通風換氣量要大很多。1～5級高級別潔凈室的通風換氣次數甚至高達幾百次之多，是普通舒適性空調房間換氣次數的幾十倍。正因為需要巨大的通風換氣量，從節省驅動能耗及減少輸送氣流的沿程熱損耗的角度出發，就要盡可能拉近機房與潔凈室的距離。這也正是廣泛采用裝置在潔凈室內的風機過濾器機組的原因之一。由于機械設備運轉造成的機械振動與噪聲、空調凈化系統較高的靜壓值及系統中氣流引起的噪聲與微振等，都比一般空調系統更為突出，因此潔凈室的噪聲與微...
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2020-08-26
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潔凈室粒子沉積測試
粒子沉積測試在國外某些高級別潔凈室頗受重視。因為通過此項測試，可以讓用戶了解可能沉積到潔凈室工作表面或產品上的空氣中懸浮粒子的數量與粒子粒徑，這對于分析產品的成品率有較高的參考價值。其檢測的方式是用表面特性與生產中所關注的表面相類似的測量采樣板，在潔凈室內收集沉積粒子。再用光學顯微鏡、電子顯微鏡或表面掃描儀確定沉積粒子的粒徑與數量；也可以用粒子沉降光度計獲得粒子沉積率的數據。后以每單位表面面積在單位時間內的粒子質量或數目來表示沉積粒子的數據。1、測量采樣板上沉積粒子的獲取方法...
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2020-08-26
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